1、濃度

　　臭氧濃度根據設備的規格、結構材質還有放電參數決定，臭氧濃度的監測，可根據臭氧濃度檢測儀器測定或采用碘量法等化學滴定。臭氧濃度單位mg/L或g/m3。

　　國際頂尖臭氧技采用石英玻璃管腔體，該技術空氣源系統臭氧發生器濃度20mg/L;氧氣源系統臭氧發生器濃度100mg/L;采用液氧作為氣源供給臭氧發生器時，臭氧濃度可達到120mg/L以上。

　　2、氣量

　　臭氧氣量單位m3/h或L/min(1m3/h=1000L/60min)。氣量可通過流量計觀察，流量計上的流量是在標準大氣壓下的流量，所以一個標準大氣壓下實際的臭氧發生器出氣量應為：流量計顯示氣量讀數×(壓力表顯示氣量度數+1)。

　　3、壓力

　　可通過壓力表判斷。在有一定的壓力條件下，臭氧電源更容易放電激發出臭氧，所以臭氧發生器反應腔壓力越高，臭氧濃度越高，電流越高。控制臭氧反應腔體的壓力，意在控制其放電電流。臭氧壓力單位Mpa，0.1Mpa=1公斤。該壓力指的是在一個大氣壓下設備反應腔體的內部壓力，所以在計算臭氧氣量的時候，應該設定在一個大氣壓的環境下計算。

　　4、功率

　　工業用臭氧發生器電源基本為220v/380V50HZ，臭氧發生器基本采用高頻逆變電源，產量1kg(1000g)空氣源臭氧發生器功率基本保持在20KW左右，對應的單相電流30A;產量1kg氧氣源臭氧發生器功率基本保持在10KW左右，對應的單相電流為15A左右。

　　5、電流

　　計算方式如下：

　　單相電流(A)=功率÷220V。

　　三相電流(A)=功率÷380V÷√3。

　　當臭氧產量不同時，產量和電流是成正比例的。用戶判定臭氧產量最有效和快捷的方法，就是檢測電流。可采用電流鉗形表來分析判斷。如果某個臭氧發生器廠家告訴你，他們的設備產1kg耗電低于5度，如何如何省電，請不要相信。

　　6、溫度

　　臭氧發生器是通過高壓放電產生臭氧，在高壓放電過程中會產生熱量從而影響臭氧的濃度，所以大型的臭氧發生器都帶有冷卻水系統，大型臭氧發生器會配備冷卻水散熱器從而降低冷卻水的使用量。